铂金靶厂家

产品编号：暂无
产品名称：铂金靶
规　　格：形状大小可订制
产品备注：用户有特殊需求，可在订货合同中说明。
产品类别：铂金靶

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产品详情

概述：

产品名称：铂金靶

铂纯度：99.95%

重量：kg/块

规格型号：可根据用户需求来订制

产品简介及特点：靶材在溅射沉积技术中用作阴极的材料。该阴极材料在带正电荷的阳离子撞击下以分子、原子或离子的形式脱离阴极而在阳极表面重新沉积。更换不同的靶材（如铝、铜、不锈钢、钛、镍靶等），即可得到不同的膜系（如超硬、耐磨、防腐的合金膜等）。铂金靶材通常是用铂钯合金制作而成，铂钯比例是80:20，纯度在99.99%以上。各种类型的溅射薄膜材料，在半导体集成电路（VLSI）、光碟、平面显示器以及工件的表面涂层等方面都得到了广泛的应用。

品名		铂金靶(Pt)
执行标准		GB/T 1419-2004
主金属含量（%）		99.99	99.95
杂质含量不大于（%）	Pt
	Pd	0.003	0.01
	Rh	0.003	0.02
	Ir	0.003	0.02
	Ru	0.003	0.02
	Au	0.003	0.01
	Ag	0.001	0.005
	Cu	0.001	0.005
	Fe	0.001	0.005
	Ni	0.001	0.005
	Al	0.003	0.005
	Pb	0.002	0.005
	Mn	0.002	0.005
	Cr	0.002	0.005
	Mg	0.002	0.005
	Sn	0.002	0.005
	Si	0.003	0.005
	Zn	0.002	0.005
	Bi	0.002	0.005




杂质总量不大于（%）		0.01	0.05

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